Déantúsaíocht Uirlisí Scannán Diamond (CVD)

Tugadh aird ard ar tháirgeadh scannáin diamaint (lena n -áirítear scannáin tanaí agus tiubha) ag baint úsáide as sil -leagan gaile ceimiceach nó as modhanna sil -leagan gaile fisiciúil, go príomha mar gheall ar a éifeachtaí agus a luach suntasach i bpróiseáil mheicniúil, optaic, teicneolaíocht micrea -leictreach agus réimsí eile.

 

 

Tá go leor buntáistí meaisínithe ag baint le huirlisí gearrtha scannáin diamaint (CVD) mar gheall ar a struchtúr planar iseatópach agus polacrystalline agus a rialú éasca ar mhéid, an cumas foshraitheanna a iompar (le foshraitheanna cóimhiotail crua le haghaidh táthú éasca), agus próiseáil micrea -lann na sraitheanna polacrystalline. Is féidir leo ionad an phróisis mhonaraithe chasta agus na huirlisí gearrtha diamaint criostail nádúrtha costasacha nádúrtha a athsholáthar go hiomlán i réimse an mheaisínithe beachtais.

 

Is féidir uirlisí gearrtha CVD a phróiseáil ag baint úsáide as próisis ardluais agus ráta beatha ard, agus ní dhéantar damáiste dóibh go héasca i meaisínithe ionsaitheach, go háirithe do scannáin diamaint le foshraitheanna SIC. Tá an chomhoiriúnacht idir an dá cheann go maith, agus ní féidir an ciseal scannáin a bhaint as le linn úsáide. Ag an am céanna, tá friotaíocht tionchair an tsubstráit agus an chiseal scannáin an -ard, ar féidir leis ionad uirlisí gearrtha PDC a chur in ionad meaisínithe beachtais agus meaisínithe leathchruinnithe. Ar ndóigh, ní féidir uirlisí gearrtha cóimhiotail crua agus uirlisí gearrtha ceirmeacha a dhéanamh.

 

Chun uirlisí gearrtha a dhéanamh ag baint úsáide as scannán Diamond, is é an chéad chéim ná gearradh a dhéanamh. Is é an modh gearrtha is éifeachtaí ná gearradh léasair, a bhfuil na buntáistí a bhaineann le seams gearrtha caol agus ardéifeachtúlacht. Ach ceanglaítear air aer a ghearradh ionas nach mbeidh aon iarmhar fágtha ar an incision. Má úsáidtear gás cosanta mar argón, níl sé go maith mar go gcloífidh táirgí graifíte leis an incision agus go mbeidh tionchar acu ar an meilt ina dhiaidh sin.

 

 

 

Tar éis é a ghearradh, tá gá le meilt lann, lena n -áirítear meilt mheicniúil (éifeachtúlacht íseal, géire ard, suas go ra {{{0}}. m), eitseáil plasma (ardéifeachtúlacht, ach teastaíonn teocht ard uaidh), meilt diosca miotail te (ardéifeachtúlacht, cruinneas suas go RA0.055 μ m, ach teastaíonn teocht ard uaidh), agus eitseáil bhíoma léasair (éifeachtúlacht an -ard, gan aon teagmháil dhíreach, ach ní shroicheann cruinneas ach RA0.5 μ m). Faoi láthair, úsáidtear meilt mheicniúil den chuid is mó sa tSín, agus tá sé deacair fós na riachtanais a chomhlíonadh.

 

Tar éis é a ghearradh agus a mheilt chun an cruth, an méid, agus an uillinn gheoiméadrach atá ag teastáil a bhaint amach, is féidir an ceann gearrtha diamaint CVD a shocrú chuig sealbhóir nó ceap an uirlis trí tháthú nó modhanna eile. Maidir le cinnirí gearrtha CVD le foshraitheanna miotail nó cóimhiotail chrua, is féidir gnáthdhíoltóir airgid a úsáid le haghaidh táthú; Má úsáidtear an ceann gearrtha scannán tiubh diamaint íon, ba cheart sádróir airgid ina bhfuil eilimintí foirmithe cairbíde láidre a úsáid le haghaidh táthú, mar shampla cóimhiotal copair airgid AG68.8CU26.7TI4.5 ina bhfuil TI, a éilíonn táthú i ngás táimhe nó i bhfolús, agus ina dhiaidh sin cóireáil fuaraithe chun strus a laghdú.

 

Cur chuige comhchosúil eile maidir le huirlisí gearrtha CVD is ea ciseal tanaí de scannán diamaint a thaisceadh go daingean ar imeall ceannródaíoch na n -uirlisí nó na struchtúr ceann uirlisí nó bratuithe déanta as ábhair fhoshraith atá oiriúnach do fhás scannán CVD, mar SIC agus SIN4. Tá éifeachtaí comhchosúla ag na huirlisí seo le bratuithe scannán CVD freisin ar uirlisí gearrtha CVD nuair a úsáidtear iad. D'úsáid DeBeers Company uirlisí brataithe Diamond -bhunaithe SIC roimhe seo chun 18% slata cóimhiotail sial a chasadh, agus iad a chur i gcomparáid le huirlisí diamaint polacrystalline (synte) agus uirlisí cóimhiotail crua (K10) faoi na coinníollacha céanna. Fuarthas amach go raibh an saol seirbhíse sa dara háit ach amháin le huirlisí diamaint polycrystalline ach i bhfad níos airde ná uirlisí cóimhiotail crua, agus bhí an éifeacht meaisínithe an -mhaith.

 

. An fhaisnéis teagmhála seirbhíse do chustaiméirí ar an láithreán gréasáin.)